绿城市。
2007年元旦刚过。
高新区真理电子工厂,迎来了京城科工委的专家调研团。
由于赵主任亲自挂帅,使得平原省、绿城市两级部门不敢怠慢,主要领导都到场亲自陪同。
这样的大阵仗,林畅也是第一次面对。
他准备了简短的欢迎仪式,然后陪同着领导和专家们一起进入厂区。
主要经办人刘彬、许安易,给来访的众人讲解硅片厂、晶圆厂的建设情况。
花费了一个多小时,领导们和专家团在厂区内的建设工地,走马观花的看了一遍。
京城大学的齐教授感慨道:“国内投建的几家芯片制造厂,我都参与或实地了解过,没想到你们的厂房建设,竟然全是自研技术,而且指标还这么高!”
许安易笑着回道:“我们在晶圆厂内的布局上,也参考了不少国外的方案。”
“但世界上目前已经投产、最先进的只有65纳米工艺,而我们的目标是45纳米制程甚至更小,而且还是12寸的大晶圆,需求的生产环境差别比较大,没有参照对象只能自己建立新的指标和要求。”
对于他自夸式的回答,不少专家都皱起了眉头。
某大学教授沉声道:“不管你们厂房的建设技术是自研还是引进的,但话还是不要说太满!据我所知,因特尔对于45纳米的研究很早就开始了…”
旁边一位中年教授也插话道:“有干劲是好事,但口号喊得再大也没用,得拿出真材实料来,不要像那个研发‘汉芯’的人一样闹出笑话!”
专家团来之前,看了不少这次调研对象的技术资料。
真理科技宣称成功研发的12寸晶圆技术,就已经够让人吃惊了,更别说比世界、比灯塔国都要先进的45纳米制程了。
曾经获奖无数的“汉芯”专家,造假吹牛都不敢说这么大,超越世界的制程技术是那么容易的?
一旁陪同的绿城市市长蔡元婴,听到这么多专家质疑,心里很是不平。
他站出来笑着说道:“林总,要不咱们直接去实验室,看看你们的设备?毕竟领导和专家们只看过上报的技术资料,还没见到过实物啊。”
赵主任笑呵呵的看了蔡元婴一眼,也说道:“真理科技之前的成就,已经得到了充分验证,我们这次兴师动众的过来,也是为表达部委乃至国家对你们的重视,所以林总方便的话,就优先展示你们在芯片制造领域的重要技术成果吧。”
林畅笑着点点头,“没问题,大家请跟随我去那边的实验楼。”
实验楼一楼。
这里整层都被改造成芯片实验室,已经小批量的在试生产芯片了。
刘彬作为真理半导体的负责人,从晶圆的加工设备开始,一路带着大家观看切割、研磨等各个工序。
然后是光刻、刻蚀、沉积...直到封装测试的整个工艺流程。
穿着防护服的刘彬,指着刚刚完成封装的一批45纳米制程芯片,大声的宣讲着:
“各位领导,各位专家,硅晶的制备设备我们也已经制造完毕,但在实验楼不好部署展示。”
“目前能看到的工艺流程中,包括EdA芯片设计软件,掩膜板的制作,光刻机以及重要的耗材等,这些核心设备全都是我们独自研发,次要设备是在国内相关厂家定制的,整个芯片制造产线可以说是100%夏国制造!”
他的话音刚落,领导和专家团便激动的鼓起了掌!
整个参观过程大家都是静默的,谁也没想到这个面积庞大的实验室里,如此先进的设备竟然都是自研的。
那台名为ZL400的浸没式dUV光刻机,采用了193纳米ArF光源,这可是比荷兰ASmL公司正在研发的xt1900i,更早实现了量产45纳米制程芯片啊。
而最牛x的是,真理科技竟然同时研发出生产5纳米以下芯片的EUV光刻机,虽然目前光源曝光率还比较低,但这可是世界独创!
惊叹过后,专家都在围着真理科技的研究员们,询问相关的技术问题,也有不少人在测试机上查看产出芯片的参数。
而来自某光学研究所的李工,却拉着刘彬走到一旁,询问EUV光刻机中的紫外线是靠什么产生的。
刘彬笑道:“李工,我们林总亲自设计了一款激光放大器,将较弱的激光脉冲提升至一万次,最终输出的平均脉冲功率稳定在25千瓦,这才基本满足了光刻所需的极紫外线,后续我们的目标是40千瓦。”
李工点点头道:“这已经很不容易了,那你们的发射器的光学组件也是自己制造的吗?”
“是的,从oLEd 屏幕真空蒸镀机延伸出的镀膜技术。”刘彬想到林畅的嘱咐,回答的很干脆。
参观完实验室后,众人来到工厂一处办公楼的会议室。
赵主任和平原省一把手王石故意坐在最后面一排,把前面位置让给专家团们。
“石港同志,我得先道个歉,之前否了你们省里申请的扶持政策,是我先入为主了。”
听到部委赵主任的诚恳话语,王石冈忙笑道:“这怎么能怪你呢,没有技术专家确认前,我们所有人也是不敢信的。”
赵主任点点头,看着前面真理科技的主要研究人员都在忙着回答专家们的提问。
他叹了口气道:“真是没想到,真理科技能创造这么多奇迹,部委之前的重视还不够啊!”
会议室内已经开成了学术发布会,刘彬,许安易以及多位研究人员配合着,把芯片研究方面的技术细节讲的很透彻。
过了半个多小时后。
不远处的办公室内。
赵主任,王石冈,和林畅进行了私下交谈。
林畅感谢完赵主任二人的赞扬后,笑着说道:
“赵主任,刚才您提出的一系列扶持政策,以及补贴资金,已经让我们受宠若惊了!关于您询问一些加工技术或设备,能否支援国防建设....”
赵主任听到这里,摆手打断了林畅的话,他笑着摇头道:“刚我所说的可不是支援的意思,部委肯定会给你们相应补偿的,只是你们有些技术对于国家太重要了,其实也并不好完全市场化运作,小林,你能理解吗?”
林畅说道:“我理解您的意思,作为夏国一份子我还是懂的轻重的,只是....”
“你有什么顾虑或者要求可以提,技术所有权终究是你们自己的,部委或涉密项目采用了也一定会给与相应补偿或回报的!”
林畅闻言,脸上露出了笑容,“领导,我有个想法,真理科技可以再设立一家子公司,技术呢,通过这家公司授权给需要的单位,而我只希望,这家子公司可以获得国防领域相关的资质。”
“你们还想朝军工这条路走?”赵主任有些惊讶。
“在电子信息领域,现在已经涉及了不少了呀,跟您来的那位李工,想必是研究激光武器类的专家吧,我个人其实对武器、机器人、航天等,都有着很大兴趣。”
见林畅说完后盯着自己看,赵主任笑了起来。
“很多人都说真理科技的研究团队人均学历不高,但公司舍得花钱实验,才能产出这么多成果,其实大家都忽略了最关键的部分,那就是小林你啊。”
“你不用忙着谦虚,从刘彬等研究人员看你的眼神中,我就知道,哪里是靠钱就能让他们对你如此崇拜啊!”
赵主任打趣完,正色道:“小林,你既然愿意用这样的方式和部委合作,那我可以同意,不过这家公司,部委或者其他主体,得在其中占一定比例的股份,但不会参与管理,这条件你能接受吗”
林畅稍一迟疑后,马上点头,“我同意!”