25小说网 通过搜索各大小说站为您自动抓取各类小说的最快更新供您阅读!

光刻机需要工作在超高无尘环境下,刚刚组装完成的测试样机正在无尘车间内安装调试。刘焱换了一身白色防尘服,戴上防尘帽,通过风淋间进入无尘车间。

此时是上午十点左右,处于每天的早班时间,晶圆工厂的四条芯片生产线正在全力运作,数千名工人,正在生产线上,有条不紊的工作。走过生产区域,进入测试区域,以姜安平为首的几十名研究人员,正围在一台一人多高的设备,做最后的调试,旁边还有几名维创电子公司的高管站在那里围观。

刘焱凑上前去,朝研发二部部长乌光辉问道:

“这台就是光刻机研发实验室制作出的第一台光刻机吗?什么时候能开始光刻测试?”

听到有人提问,阳威力、金小雅等人同时转头看过来,见是老板刘焱,纷纷打招呼问好,乌光辉出声给刘焱解释道:

“对,就是这台机器,昨天组装完成之后,第一时间就从研发大楼搬运到了无尘车间,经过一天一夜的安装调试,现在已经差不多可以开始了。”

刘焱满意的点点头,围着光刻机转了一圈,这台设备为全封闭结构,就像一个四四方方的铁皮文件柜,外壳喷涂成了乳白色,左右两侧,设置有硅晶圆入口和出口,靠外一侧安装着一个控制面板和一台大屁股显示器。

刘焱有些疑惑的问道:

“看外表,我们这台光刻机似乎和J能、N康的光刻机都不太一样,这是对外壳进行了优化吗?”

乌光辉摇摇头之后说道:

“我们不光优化了外壳,同时也优化了部分内部结构。

老板你提供的资料里不是有一部分0.5微米光刻机的预研资料吗,姜教授他们研发一微米光刻机的时候,参考了0.5微米光刻机的内部结构,对设计图进行了一些更改优化。

从理论上来说,这些优化对晶圆的加工速度和加工精度,应该都有所提升,实际情况如何,还需要测试过后才知道。”

姜安平等人又忙活了半个多小时,光刻机终于调试完成,将提前准备好的掩膜版固定到掩膜版工作台上。阳威力通过对讲机沟通,让一位名为柏巧玲的女工,送来了几十片已经涂好光刻胶的硅晶圆。

姜安平亲自动手,将硅晶圆安置到光刻机晶圆入口处的支架上,然后按下操作面板上的启动按钮。

光刻机内部传出细微的机械转动声音,一张硅晶圆被机械臂送进光刻机内部,在深色玻璃观察窗上,亮起一抹深邃的紫色光芒,开始对硅晶圆进行加工。

见状,刘焱出声询问道:

“这台光刻机使用的是哪种光源,是高压汞灯产生的436nmg-line和365nmi-line,还是248nm的KrF准分子激光作为光源?”

乌光辉回答道:

“现在使用的是高压汞灯产生的365nmi-line作为光刻光源,理论上,这种光源能一直将光刻机的加工精度提升到0.35微米,作为未来一两代光刻机的光源足够使用了。

准分子激光光源,是下一代光刻机光源技术,咱们研发部已经立项开始研发,但这种技术在世界范围内,也是最前沿研发项目,开发难度非常高,不是短期内能攻克的。”

这台新研制的光刻机的加工速度还是很快的,即使是初次测试,柏巧玲拿来的几十片硅晶圆也在二分钟内,全部完成了光刻加工。

这些光滑如镜的硅晶圆上,多了很多方块状的纹路。测试用的掩膜版,是晶圆工厂正在生产的ARm1芯片掩膜版,其复杂程度和尺寸大小,是晶圆工厂出产的所有芯片之最。

按照原本的计划,第一次光刻测试,应该选用最为简单的单片机芯片作为加工目标,这样一来,就可以从易到难,逐步查漏补缺,将光刻机修改完善。但姜安平和几个主要研发人员,对光刻机测试样机非常有信心,直接上了最大难度,也是需求量最大的ARm1芯片。

维创电子公司推出的第二代游戏掌机上市之后,立刻受到电玩爱好者的热捧,仅仅上市半个多月,就售出了300万台。随机配送的和两款游戏,在画面、音效、游戏可玩性上,碾压市面上的所有游戏。游戏掌机热销,作为主控芯片的ARm1需求量大增,可是产品合格率始终徘徊在60%~70%之间,提升速度非常缓慢。

经过蒙小刚、姜安平,几个相关领域的专家研究分析,认为ARm1合格率过低的原因恰恰是光刻机精准度不达标造成的。晶圆工厂内的这几条芯片生产线毕竟是使用了一二十年的设备,能正常生产芯片就不错了,想要苛求加工参数完全达标,几乎不可能。其中影响最大的,就是作为核心设备的光刻机。

姜安平亲自动手,使用专用夹具,将光刻完的几十片硅晶圆装进专用容器,拿去芯片生产线那边,去进行后续的刻蚀、离子注入、薄膜沉积、化学机械研磨等步骤。

两个多小时之后,所有工序走完,几十片硅晶圆,变成了一千多枚封装完成的ARm1芯片。刘焱、乌光辉、姜安平等高管和研发人员,开始动手对这批芯片进行全面测试。

半小时后,所有芯片测试完成,姜安平对测试结果进行了汇总,最后宣布道:

“此次我们自主研发的一微米光刻机测试,共选用了35片硅晶圆,加工过后,切割封装成1750枚芯片。

经过全面测试,合格产品共1203枚,合格率为68.7%。

也就是说,咱们光刻机研发实验室生产的第一台一微米光刻机,第一次开机测试生产,就成功了,并且合格率已经达到了晶圆工厂内现有几台J能和N康光刻机的加工水平。”

听完姜安平的发言,刘焱带头鼓掌,其他维创电子告诉的高管和研发人员,以及其他负责封装测试的员工紧随其后,现场爆发出一阵热烈的掌声。

在场观摩的维创电子公司员工们都在七嘴八舌的讨论着:

25小说网推荐阅读:玄幻:从炼丹学徒开始崛起修仙:我的小法术能稳定升级长生仙族,从小符师开始不抢钱,我怎么修仙?开局族灭,从零打造永恒帝族重生魔帝还带攻略百科,我无敌了C小姐的婚后生活解析全球高武:女儿带我亿万倍修炼斗罗大陆V重生唐三说我是反派,污蔑竟然成真了!无敌,从一间客栈开始诸天从长津湖开始村里来了盗墓贼穿越异界,我用一把长枪吊打四方九转神魔斗罗大陆5重生唐三丹田被毁,觉醒镇天珠!逆天仙帝女巫:虚空卡牌史上最年轻的道门大真人生生不灭豪门枭士弃皇恩负天下:绝世师尊赛博修仙:我有两个脑子辞职之后就出道,唱跳修路建学校我在修真界坑蒙拐骗雷霆圣帝阴阳猎手为人族!鸣万世不平绝世唐门万界龙祖斗罗大陆III斗罗大陆III龙王传说名门正派的我怎么成了魔尊杀神狩猎仙魔天武神尊垂钓之神英雄无敌之世界新篇梦游症之外星探险雷雨之挣脱囚笼重生大鹏金翅仙,我一秒涨一年功力洪荒玄幻之神级暴君重生成双面校草的心头宠劣根枷锁琴瑟别想好魔后你别跑白千羽的日常生活之国漫邪魅小阁主的腹黑妻我开局强吻了女帝袖手天下情
25小说网搜藏榜:斗罗大陆5重生唐三斗罗大陆III斗罗大陆III龙王传说梦游症之外星探险雷雨之挣脱囚笼C小姐的婚后生活解析重生大鹏金翅仙,我一秒涨一年功力洪荒玄幻之神级暴君重生成双面校草的心头宠劣根枷锁琴瑟别想好魔后你别跑白千羽的日常生活之国漫邪魅小阁主的腹黑妻我开局强吻了女帝袖手天下情全球高武:女儿带我亿万倍修炼回乡去当网格员浮萍舟游仙品小农民从蛇开始进化爆火后想离婚被裴先生摁怀里亲遮天:洪荒真龙!你管我叫小蛇?无限复原:开局修复仙骨神髓萌妃倾城:国师绝宠离元诀强吻主角师尊,必死的我居然活了开局签到红尘仙攻心日常,我家总裁很霸气凌天战帝玄天一剑报告霆爷,夫人每天都在线装乖井梧潇潇见证变强,我一人杀穿黑暗诸天绝色女帝,没人敢要,我扛回家史上最强仙尊玄幻:反派的我彻底摆烂凶案一号记录独战一生盛世华庭之帝妃难当西游:我打造了炼狱版八十一难风魔叶罗丽仙境之重轮回剑斩苍穹我就是剑我的地下城与魔物玄幻:娘胎修炼,开局绑定天道老婆!饿龙物语驭兽狂妃:魔君乖乖让我宠抢我无敌重瞳,我杀生成魔你们怕什么开局签到五行灵根我在修仙界开创武道巨阀
25小说网最新小说:鸿蒙炼天诀小宝是药仙混沌镇狱:从锁妖塔开始不朽以医入道神诛风云录带着机器猫去修仙开局黑狼拳,简化后让我学狼叫让你守皇陵,你天下无敌了?长生:我在巡甲司肝经验龙魂双生绝世高手:开局被美女师傅绑上山丹圣仙尊冥府归来,我掌控生灵我棺中成神,竟然有人来刨我坟?逆天战皇开局成狸猫?我靠扮演神明成仙!都市之我有个随身鱼塘妻女被欺,我背棺出世,埋葬众生逍遥文公子,当世谪仙人修仙御兽师:城主玄幻:多子多福,我被美女包围了混沌开天:亦名魔萧重生:从哥布林开始的异世界生活女帝:趁着师侄还小,拐他当夫君长生诀启,神途路开灵霄天尊:重生后我在古代逆天改烬骨柔一拳伤害999999,你说少宗主弱?玄幻:镇守剑阁!我是主角投资人让你收弟子增加人气,全峰仙帝为你打杂?彼岸生花不是,人类契约灵真可以这么强?华娱第一富开局被小兕子唤醒帝皇归来:不祥王冠开局命剩三天?我跟妖魔借点寿元系统不靠谱又如何?我照样成仙!都市狂龙:我的拳头能冒火魅魔反派:成为九亿仙子圣女的梦开局一张鸿蒙神榜,打造不朽神族太古封神西游三大反骨仔,结义大闹三界凤凰传说之人间原界之主仙子请自重民间故事三百篇烟火成圣九界仙途:逆世问道录双穿:这邪修的功德金轮咋回事?逗破苍穹之这个系统太皮了!!